全自动单/双面刷洗机

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       全自动单/双面刷洗机由Loading、Unloading、晶圆机械手、刷洗、甩干单元等单体组成,通过晶圆机械手将晶片由Loading单元转移到刷洗工位,通过毛刷对晶片表面进行药液、二流体、纯水刷洗,清除晶片表面的微小粒子。

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全自动单/双面刷洗机

       全自动单/双面刷洗机由Loading、Unloading、晶圆机械手、刷洗、甩干单元等单体组成,通过晶圆机械手将晶片由Loading单元转移到刷洗工位,通过毛刷对晶片表面进行药液、二流体、纯水刷洗,清除晶片表面的微小粒子。

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全自动单/双面刷洗机

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  • 产品描述

    |  设备概述
           全自动单/双面刷洗机由Loading、Unloading、晶圆机械手、刷洗、甩干单元等单体组成,通过晶圆机械手将晶片由Loading单元转移到刷洗工位,通过毛刷对晶片表面进行药液、二流体、纯水刷洗,清除晶片表面的微小粒子。

     

    |  应用领域
           应用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化镓(GaN)等半导体材料的刷洗,同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶等材料。

     

    |  设备特点
    ✦ 晶圆机械手传输晶片过程精度高、稳定性高。
    ✦ 可兼容2、4、6、8寸晶片的刷洗。
    ✦ 自动化操作无人工干预,避免二次污染。
    ✦ 全封闭刷洗环境,避免环境污染。
    ✦ 双刷洗工位,有效提高生产效率。
    ✦ 实现干进干出的加工方式。

     

    |  可选配置
    ✦ 兆声波发生器
    ✦ 湿进干出装置
    ✦ 翻转装置,实现单面转双面刷洗

     

    |  设备参数

    型号

    CX-S6F

    CX-S8F

    上料工位

    晶片尺寸

    4、6寸

    6、8寸

    数量

    2

    2

    感应装置

    包含

    包含

    传输系统

    传输方式

    晶圆机械手

    晶圆机械手

    清洗、甩干单元

    数量

    2

    2

    药液喷洒装置

    3

    3

    刷洗方式

    PVA毛刷

    PVA毛刷

    固定方式

    卡爪/真空吸附

    卡爪/真空吸附

    甩干方式

    高速旋转

    高速旋转

    下料工位

    数量

    2

    2

    感应装置

    包含

    包含

    控制系统

    系统

    PLC

    PLC

    显示

    10.4寸彩色触摸屏

    10.4寸彩色触摸屏

    厂务

    电源

    AC220V 50Hz

    AC220V 50Hz

    尺寸

    W1230mm * L1850mm * H2050mm

    W1230mm * L1850mm *  H2050mm

    重量

    约700Kg

    约700Kg

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