陶瓷盘清洗机

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       陶瓷盘竖直清洗,可减少设备的占地面积。
       采用超声波清洗,可较大限度避免损伤陶瓷盘面。
       自动上/下料系统及12片容量的陶瓷盘推车,可提高效率减少人工。
       搬移机械手单独上下移动,可增强陶瓷盘清洗效果。

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陶瓷盘清洗机

       陶瓷盘竖直清洗,可减少设备的占地面积。
       采用超声波清洗,可较大限度避免损伤陶瓷盘面。
       自动上/下料系统及12片容量的陶瓷盘推车,可提高效率减少人工。
       搬移机械手单独上下移动,可增强陶瓷盘清洗效果。

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陶瓷盘清洗机

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  • 产品描述

    |  应用领域
           应用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化镓(GaN)等半导体材料的刷洗,同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶等材料。

     

    |  设备特点
    ✦ 陶瓷盘竖直清洗,可减少设备的占地面积。
    ✦ 采用超声波清洗,可较大限度避免损伤陶瓷盘面。
    ✦ 自动上/下料系统及12片容量的陶瓷盘推车,可提高效率减少人工。
    ✦ 搬移机械手单独上下移动,可增强陶瓷盘清洗效果。

     

    |  设备参数

    设备型号

    CX-BE05

    适应产品

    陶瓷盘 Φ360mm

    陶瓷盘 Φ485mm

    洗槽数量

    3槽

    超声波洗槽数量

    2槽

    药液洗槽数量

    1槽

    洗槽循环流量

    20L/min

    洗槽材质

    SUS316

    连续作业时间

    约3~4分钟/盘(具体视工艺而定)

    设备尺寸

    W4965mm * L2100mm * H2605mm

    设备重量

    约3000kg

    瓷盘车容量

    12片

    自动上下瓷盘

    水枪

    1个

    搬移机械手上下

    伺服电机+滚珠丝杠+滚动导轨

    搬移机械手左右

    伺服电机+齿轮齿条+滚动导轨

    进盘翻转机构

    气缸

    出盘翻转机构

    减速电机

    设备使用条件

    电源

    AC380, 50Hz,三相四线制

    总容量

    70kw

    气源接口

    3/4

    进水接口

    3/4

    排水接口

    1 +1/2

    排气

    正压排气5″

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