陶瓷盘竖直清洗，可减少设备的占地面积。<br>
采用超声波清洗，可较大限度避免损伤陶瓷盘面。<br>
自动上/下料系统及12片容量的陶瓷盘推车，可提高效率减少人工。<br>
搬移机械手单独上下移动，可增强陶瓷盘清洗效果。
| 应用领域
应用于碳化硅（SiC）、硅（Si）、氮化镓（GaN）等半导体材料的刷洗，同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶等材料。
| 设备特点
✦ 陶瓷盘竖直清洗，可减少设备的占地面积。
✦ 采用超声波清洗，可较大限度避免损伤陶瓷盘面。
✦ 自动上/下料系统及12片容量的陶瓷盘推车，可提高效率减少人工。
✦ 搬移机械手单独上下移动，可增强陶瓷盘清洗效果。
| 设备参数
|
设备型号
|
CX-BE05
|
|
适应产品
|
陶瓷盘 Φ360mm
|
|
陶瓷盘 Φ485mm
|
|
洗槽数量
|
3槽
|
|
超声波洗槽数量
|
2槽
|
|
药液洗槽数量
|
1槽
|
|
洗槽循环流量
|
20L/min
|
|
洗槽材质
|
SUS316
|
|
连续作业时间
|
约3～4分钟/盘（具体视工艺而定）
|
|
设备尺寸
|
W4965mm * L2100mm * H2605mm
|
|
设备重量
|
约3000kg
|
|
瓷盘车容量
|
12片
|
|
自动上下瓷盘
|
是
|
|
水枪
|
1个
|
|
搬移机械手上下
|
伺服电机+滚珠丝杠+滚动导轨
|
|
搬移机械手左右
|
伺服电机+齿轮齿条+滚动导轨
|
|
进盘翻转机构
|
气缸
|
|
出盘翻转机构
|
减速电机
|
|
设备使用条件
|
电源
|
AC380, 50Hz,三相四线制
|
|
总容量
|
70kw
|
|
气源接口
|
3/4
|
|
进水接口
|
3/4
|
|
排水接口
|
1 +1/2
|
|
排气
|
正压排气5″
|
