陶瓷盘清洗贴片一体机

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       陶瓷盘竖直清洗,可减少设备占地面积。
       采用超声波清洗,可较大限度避免损伤、磕碰陶瓷盘。
       自动上/下料系统以及8片容量的陶瓷盘推车,可减少人工,提高效率。
       搬移机械手单独上下移动,可增强陶瓷盘清洗效果。
       陶瓷盘清洗结束后可直接翻转,通过转接机构,可与两台贴蜡机进行对接,自动完成涂蜡、甩蜡、贴片、冷却的贴蜡工序。
       可一拖一或一拖二选配。
       晶片贴片前清洗,陶瓷盘清洗有效降低贴片过程中的气泡、黑点污染,提高贴片良品率。

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陶瓷盘清洗贴片一体机

       陶瓷盘竖直清洗,可减少设备占地面积。
       采用超声波清洗,可较大限度避免损伤、磕碰陶瓷盘。
       自动上/下料系统以及8片容量的陶瓷盘推车,可减少人工,提高效率。
       搬移机械手单独上下移动,可增强陶瓷盘清洗效果。
       陶瓷盘清洗结束后可直接翻转,通过转接机构,可与两台贴蜡机进行对接,自动完成涂蜡、甩蜡、贴片、冷却的贴蜡工序。
       可一拖一或一拖二选配。
       晶片贴片前清洗,陶瓷盘清洗有效降低贴片过程中的气泡、黑点污染,提高贴片良品率。

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陶瓷盘清洗贴片一体机

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  • 产品描述

    |  应用领域
           应用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化镓(GaN)等半导体材料的加工,同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶、MEMS、光学产品等材料。

     

    |  设备特点
     陶瓷盘竖直清洗,可减少设备占地面积。
     采用超声波清洗,可较大限度避免损伤、磕碰陶瓷盘。
     自动上/下料系统以及8片容量的陶瓷盘推车,可减少人工,提高效率。
     搬移机械手单独上下移动,可增强陶瓷盘清洗效果。
     陶瓷盘清洗结束后可直接翻转,通过转接机构,可与两台贴蜡机进行对接,自动完成涂蜡、甩蜡、贴片、冷却的贴蜡工序。
     可一拖一或一拖二选配。
     晶片贴片前清洗,陶瓷盘清洗有效降低贴片过程中的气泡、黑点污染,提高贴片良品率。

     

    |  设备参数

    产品

    适用产品

    产品规格

    2、4、6、8寸

    陶瓷盘规格

    Φ360mm、Φ485mm、Φ520mm、Φ546mm

    设备

    设备尺寸

    W6600mm * L5500mm * H2505mm

    设备重量

    约6500Kg

    外观

    银白色

    电气

    电源

    AC380V,三相五线,50Hz

    总功率

    90kw

    压缩空气

    压力

    0.5~0.7(MPa)

    用量

    550(NL/hr)

    连接口径

    Φ12mm

    清洗槽进水
    (客户提供纯水)

    连接口径

    1inch

    流量

    15L/min

    温度

    常温

    出盘翻转装置

    类型

    减速电机翻转,气缸夹紧

    翻转

    减速电机

    夹紧

    气缸

    贴片加压装置

    加压气囊

    电子气压调节功能,实现压力线性控制

    压力设定范围:15~150KPa

    贴片瓷盘加热装置

    预热加热盘

    功率

    2.5kw

    贴片加热盘

    功率

    2.5kw

    分度

    伺服电机分度

    冷却盘

    冷却水控制

    装有ON / OFF通断电磁阀

    甩蜡装置

    适用产品

    2、4、6、8寸

    托盘尺寸

    Φ30mm、Φ70mm

    真空输入

    -450~-650mmHg

    控制系统

    PLC触摸屏

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