单面抛光系统

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       单面抛光系统由陶瓷盘料库装载平台、机械手、抛光机、刷洗机构成。机械手能快速完成自动上/下陶瓷盘。抛光机实现对产品的自动化单面抛光,刷洗机对残留在产品表面的抛光液进行清洗。

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单面抛光系统

       单面抛光系统由陶瓷盘料库装载平台、机械手、抛光机、刷洗机构成。机械手能快速完成自动上/下陶瓷盘。抛光机实现对产品的自动化单面抛光,刷洗机对残留在产品表面的抛光液进行清洗。

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单面抛光系统

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  • 产品描述

    |  设备概述
           单面抛光系统由陶瓷盘料库装载平台、机械手、抛光机、刷洗机构成。机械手能快速完成自动上/下陶瓷盘。抛光机实现对产品的自动化单面抛光,刷洗机对残留在产品表面的抛光液进行清洗。

     

    |  应用领域
           应用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化镓(GaN)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等半导体材料的抛光,同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶、MEMS、光学产品等材料的加工。

     

    |  适用范围
     陶瓷盘尺寸:Φ305mm、Φ360mm、Φ485mm(可兼容)
     产品尺寸:2、4、6寸(可兼容)
     抛光效率:约0.2um~0.3um/min(具体视工艺而定)
     清洗效率:约2min/盘(具体视工艺而定)
     清洗液温度:30℃(具体视工艺而定)

     

    |  设备参数

    项目

    参数

    描述

    备注

    陶瓷盘搬送机械手

    x1

    4轴取片、真空

     

    抛光机

    x2

    4轴加压盘(速度、压力可调节)

     

    陶瓷盘料库装载平台

    x1

    单轴、三工位

     

    陶瓷盘料库移动小车

    x1

    手动升降

     

    陶瓷盘卡塞

    x3

    8片容量

     

    电源箱

    x4

     

     

    操作面板

    x3

     

     

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