单面抛光机910/1300/1450

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       单面抛光机由抛光盘、上压头、抛光液供应系统等单体组成,通过上压头给产品施加压力,同时通过抛光盘和上压头的旋转对产品进行加工,以达到需求的平面度和光洁度。

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单面抛光机910/1300/1450

       单面抛光机由抛光盘、上压头、抛光液供应系统等单体组成,通过上压头给产品施加压力,同时通过抛光盘和上压头的旋转对产品进行加工,以达到需求的平面度和光洁度。

所属分类:

单面抛光机

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  • 产品描述

    |  设备概述
           单面抛光机由抛光盘、上压头、抛光液供应系统等单体组成,通过上压头给产品施加压力,同时通过抛光盘和上压头的旋转对产品进行加工,以达到需求的平面度和光洁度。

     

    |  应用领域
           应用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化镓(GaN)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等半导体材料的抛光,同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶、MEMS、光学产品等材料的加工。

     

    |  设备特点
    ✦ 整体铸造式铸铁机身,高刚性,高稳定性。
    ✦ 采用高刚性、低振动的主轴,防止加工过程中产生抖动。
    ✦ 采用特殊上压头、大盘冷却结构,有效控制盘面平整度。
    ✦ 大盘、上压头采用软启动,防止碎片、崩边和破损。
    ✦ 实时可视化的加工过程监控。
    ✦ 分段式压力控制系统。
    ✦ SECM/GEM、MES系统。

     

    |  设备型号

    型号

    CX-CMP910

    CX-CMP1300

    CX-CMP1450

    抛光盘

    尺寸

    910mm

    1280mm

    1450mm

    主轴类型

    机械主轴

    机械主轴

    机械主轴

    功率

    15kw

    30kw

    37.5kw

    转速

    10~60rpm

    10~60rpm

    10~60rpm

    上压头

    数量

    4

    4

    4

    陶瓷盘直径

    360mm

    485mm

    546mm

    主轴类型

    机械主轴

    机械主轴

    机械主轴

    功率

    750w

    1500w

    1500w

    转速

    10~60rpm

    10~60rpm

    10~60rpm

    压力

    300Kg

    500Kg

    500Kg

    抛光液
    供应系统

    流量

    1~20L/min

    容积

    30L(按照客户要求定制)

    在线盘面清洗装置

    选配

    防腐蚀处理

    配备

    尺寸

    W1450mm * L1500mm * H2700mm

    W1700mm * L1850mm * H2700mm

    W1700mm * L1950mm * H2700mm

    重量

    约3000kg

    约5000kg

    约5500kg

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