摆动式双轴研磨机

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       摆动式双轴研磨机由研磨盘、摆动式上压头、研磨液供应系统等单体组成,通过上压头给产品施加压力,在研磨盘和上压头旋转的同时,上压头伴随旋转左右位移对产品进行加工,以达到更好的平面度和光洁度。

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摆动式双轴研磨机

       摆动式双轴研磨机由研磨盘、摆动式上压头、研磨液供应系统等单体组成,通过上压头给产品施加压力,在研磨盘和上压头旋转的同时,上压头伴随旋转左右位移对产品进行加工,以达到更好的平面度和光洁度。

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摆动式双轴研磨机

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  • 产品描述

    |  设备概述
           摆动式双轴研磨机由研磨盘、摆动式上压头、研磨液供应系统等单体组成,通过上压头给产品施加压力,在研磨盘和上压头旋转的同时,上压头伴随旋转左右位移对产品进行加工,以达到更好的平面度和光洁度。

     

    |  应用领域
           应用于碳化硅(SiC)、蓝宝石(Sapphire)、氮化镓(GaN)、陶瓷、MEMS、光学产品等材料的加工。

     

    |  设备特点
     整体铸造式铸铁机身,高刚性,高稳定性。
     采用高刚性、低振动的主轴,防止加工过程中产生抖动。
     采用独特的上压头、大盘冷却结构,有效控制盘面平整度。
     大盘、上压头采用软启动,防止碎片、崩边和破损。
     实时可视化的加工过程监控。
     在线车刀对研磨盘进行修盘和开槽。
     加工过程中,上压头左右摆动增加研磨轨迹,得到更好的产品平面度。
     分段式压力控制系统。
     SECM/GEM、MES系统。

     

    |  设备型号

    型号

    CX-DMP2360

    研磨盘

    尺寸

    910mm

    主轴类型

    机械主轴

    功率

    15kw

    转速

    10~60rpm

    上压头

    数量

    4

    陶瓷盘直径

    360mm

    主轴类型

    机械主轴

    功率

    750w

    转速

    10~60rpm

    压力

    300Kg

    左右摆动

    幅度

    ±15mm

    研磨液
    供应系统

    流量

    5~50ml/min

    容积

    5L

    在线修盘/开槽装置

    包含

    尺寸

    W1450mm * L1950mm * H2650mm

    重量

    约2800kg

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