- 产品描述
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| 设备概述
摆动式双轴研磨机由研磨盘、摆动式上压头、研磨液供应系统等单体组成，通过上压头给产品施加压力，在研磨盘和上压头旋转的同时，上压头伴随旋转左右位移对产品进行加工，以达到更好的平面度和光洁度。| 应用领域
应用于碳化硅（SiC）、蓝宝石（Sapphire）、氮化镓（GaN）、陶瓷、MEMS、光学产品等材料的加工。| 设备特点
✦ 整体铸造式铸铁机身，高刚性，高稳定性。
✦ 采用高刚性、低振动的主轴，防止加工过程中产生抖动。
✦ 采用独特的上压头、大盘冷却结构，有效控制盘面平整度。
✦ 大盘、上压头采用软启动，防止碎片、崩边和破损。
✦ 实时可视化的加工过程监控。
✦ 在线车刀对研磨盘进行修盘和开槽。
✦ 加工过程中，上压头左右摆动增加研磨轨迹，得到更好的产品平面度。
✦ 分段式压力控制系统。
✦ SECM/GEM、MES系统。| 设备型号
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