单面研磨系统

零售价

市场价


       单面研磨系统由陶瓷盘料库装载平台、机械手、研磨机、刷洗机构成。机械手能快速完成自动上/下陶瓷盘。研磨机实现对产品的自动化单面研磨,刷洗机对残留在产品表面的研磨液进行清洗。

重量

数量
-
+

库存

隐藏域元素占位

单面研磨系统

       单面研磨系统由陶瓷盘料库装载平台、机械手、研磨机、刷洗机构成。机械手能快速完成自动上/下陶瓷盘。研磨机实现对产品的自动化单面研磨,刷洗机对残留在产品表面的研磨液进行清洗。

所属分类:

单面研磨系统

附件下载
  • 产品描述

    |  设备概述
           单面研磨系统由陶瓷盘料库装载平台、机械手、研磨机、刷洗机构成。机械手能快速完成自动上/下陶瓷盘。研磨机实现对产品的自动化单面研磨,刷洗机对残留在产品表面的研磨液进行清洗。

     

    |  应用领域
           应用于碳化硅(SiC)、蓝宝石(Sapphire)、氮化镓(GaN)、陶瓷、MEMS、光学产品等材料的加工。

     

    |  适用范围
    ✦ 陶瓷盘尺寸:Φ305mm、Φ360mm、Φ485mm(可兼容)
    ✦ 产品尺寸:2、4、6寸(可兼容) 
    ✦ 研磨效率:约2um~3um/min(具体视工艺而定)
    ✦ 清洗效率:约2min/盘(具体视工艺而定)
    ✦ 清洗液温度:40℃(具体视工艺而定)

     

    |  规格参数
    ✦ 供电电源:AC380V,三相四线,50Hz
    ✦ 控制方式:PC + PLC控制
    ✦ 气源压力:0.5~0.6(MPa)
    ✦ 设备尺寸:W3850mm * L3485mm * H2380mm
    ✦ 设备重量:约9500Kg

     

    |  设备参数

    项目

    参数

    描述

    备注

    陶瓷盘搬送机械手

    x1

    4轴取片、真空

     

    研磨机

    x2

    4轴加压盘(速度、压力可调节)

     

    陶瓷盘料库装载平台

    x1

    单轴、三工位

     

    陶瓷盘料库移动小车

    x1

    手动升降

     

    陶瓷盘卡塞

    x3

    8片容量

     

    电源箱

    x4

     

     

    操作面板

    x3

     

     

上一页

下一页