- 产品描述
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| 设备概述
单面研磨系统由陶瓷盘料库装载平台、机械手、研磨机、刷洗机构成。机械手能快速完成自动上/下陶瓷盘。研磨机实现对产品的自动化单面研磨，刷洗机对残留在产品表面的研磨液进行清洗。| 应用领域
应用于碳化硅（SiC）、蓝宝石（Sapphire）、氮化镓（GaN）、陶瓷、MEMS、光学产品等材料的加工。| 适用范围
✦ 陶瓷盘尺寸：Φ305mm、Φ360mm、Φ485mm（可兼容）
✦ 产品尺寸：2、4、6寸（可兼容）
✦ 研磨效率：约2um～3um/min（具体视工艺而定）
✦ 清洗效率：约2min/盘（具体视工艺而定）
✦ 清洗液温度：40℃（具体视工艺而定）| 规格参数
✦ 供电电源：AC380V，三相四线，50Hz
✦ 控制方式：PC + PLC控制
✦ 气源压力：0.5～0.6（MPa）
✦ 设备尺寸：W3850mm * L3485mm * H2380mm
✦ 设备重量：约9500Kg| 设备参数
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