半自动单轴减薄机

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       人工手动将产品放置在承片工作台上,通过承片工作台和砂轮轴的相对旋转,同时砂轮轴向下进给,对承片工作台上的产品进行磨削加工,加工过程中使用在线厚度测量,控制产品厚度直至达到设定的目标厚度。

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半自动单轴减薄机

       人工手动将产品放置在承片工作台上,通过承片工作台和砂轮轴的相对旋转,同时砂轮轴向下进给,对承片工作台上的产品进行磨削加工,加工过程中使用在线厚度测量,控制产品厚度直至达到设定的目标厚度。

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半自动单轴减薄机

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  • 产品描述

    |  设备概述

           人工手动将产品放置在承片工作台上,通过承片工作台和砂轮轴的相对旋转,同时砂轮轴向下进给,对承片工作台上的产品进行磨削加工,加工过程中使用在线厚度测量,控制产品厚度直至达到设定的目标厚度。

     

    |  应用领域

           应用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化镓(GaN)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等半导体材料的快速薄化,同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶,以及棱镜等光学产品的加工。

     

    |  设备特点
     金刚石砂轮电主轴、砂轮升降系统
    金刚石砂轮驱动采用高速、高精度电主轴,实现产品加工,并减少产品的破损率,达到理想的TTV。
    砂轮升降系统由伺服电机、谐波减速机与丝杆滑轨控制,使砂轮精确移动到加工设定位置。

     晶片测量系统
    通过设定初始厚度以及加工程序,使减薄加工逐步运行,达到精确的加工厚度。
    采用意大利进口测厚系统,实现实时监测产品厚度。

     旋转工作台系统
    高精密真空陶瓷吸盘载台。
    X向自动进出料工作台移动装置。

     自动冷却液供给系统
    加工过程中自动供给冷却液,将加工过程中砂轮和产品之间由于高速磨削产生的热量迅速带走。

     

    |  可选配置
     空气主轴
     砂轮在线修整功能
     单片/多片加工方式
     接触式/非接触式厚度测量

     

    |  设备型号

    型号

    CX-FG305

    CX-FG360

    应用

    工作盘

    Φ305mm

    Φ360mm

    砂轮尺寸

    Φ303mm

    Φ380mm

    主机

    机身

    钢焊接+铸铁

     

    砂轮主轴

    类型

    高频内置电主轴

    转速

    Max.3700rpm

    功率

    7.5kw电主轴

    承片工作台

    转速

    Max.300rpm

    功率

    1.5kw伺服马达

    测量单体

    测量方式

    实时在线测量

    测量精度

    ≤1µm

    操作系统

    菜单

    选择加工产品类型

    操作权限

    操作员、工程师、维保、主管

    控制系统

    系统

    PC + PLC控制

    显示

    14.1寸彩色触摸屏

    厂务

    电源

    AC220V、三相四线50/60Hz 15kw

    尺寸

    W700mm * L1850mm * H2030mm

    重量

    约2500kg

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